Lexikon

A:

Ätzen
Aktivieren
Aktive Spezies
amorph
Anion
anisotrop
Anode
antiadhäsiv
Antihaftbeschichtung
Argon
Aspektverhältnis
Atmosphärendruck-plasma
Atom   

B:

Barrel-Reaktor
Barriereschichten
Benetzung
Beschichten
Biasspannung
Bonden
Borsilikatglas 

 

 
 
 

C:  

CDE Chemical Dry Etching            
CF4
Chemisches Ätzen     
Corona        

 
 
 
 

D:

DBE  DBD 
Depolymerisation
Desmear Prozess
Diffusionssperre
Di-Para-Xylylen
DLC
Drehtrommel
Downstream Plasma      

 
 

 

E:

Edelgas
Edelstahl
Elastomere
Elektrode
Elektron
EPDM
Epilamisieren

 

 
 

F:

Faraday
Faserverbundwerkstoff
Feinstreinigung
Fluor
fluorieren
Fotolack
Fotolithographie
Fotoresist

G:

Gasbalast
Gasentladung
Generator
GHz-Plasmaanlage,
Gitterschnitt
Glasfaser
Graphit
Gummi



H:

Haftvermittler
Halbleiter
HF-Generator
HMDSO
Hochfrequenz
Hochreine Oberfläche
Hochspannung
hydrophil
hydrophob

I:

IC
ICP Inductively Coupled Plasma
Induction
Ionenätzen
Ionisation
Ionisationsgrad
ISM
isotrop

K:

Kaltes Plasma
Kathode
Keramik
Kleben
Kohäsion
Kohlenstoff
Kohlenwasserstoff
Kontaktwinkel
Kunststoff
Kunststoffaktivierung

 

L:

LABS-frei
lackieren
Langmuirsonde
Leiterplatte
Leuchtstoffröhre
Lichtbogen
lipophil
lipophob
Lithographie
LOC Lab-on-Chip

M:

Magnetron
Magnetfeldröhre
Maske
MEMS
MFC Mass Flow Controller
Mikrofluidik
Mikroplasma
Mikrosandstahlen
Mikrowellenplasma
Monomer

N:

Nadelventil
Nanotechnologie
Neon
Niederdruckplasma
Niedertemperaturplasma

O:

O-Ringe
Oberflächenbehandlung
Oberflächenenergie
Oberflächenreinigung
Oberflächenspannung
oleophob



P:

Parylene
PDMS
Photovoltaik
physikalisches Ätzen
Plasma
Plasmaätzen
Plasmaaktivierung
Plasmaanlage
Plasmabeschichten
Plasmafeinstreinigung
Plasmapolymerisation
Plasmareinigen
Plasmastick
Platine
Polymer
Precursor
Prozessgas
PTFE
PVD

Q:

Quarzglas

R:

Radikale
Rezipient
RIE

S:

sccm
Self-BIAS
Silicon
Silikon
Silizium
sputtern
Sterilisation

T:

Target
Teflon
Testtinte
Tetrafluormethan
Textilbehandlung
Trockenätzen



U:

UV-Strahlung

V:

Vakuum
Vakuumkammer
Vakuumpumpe
Valenzelektron
Verbundwerkstoff

W:

Wafer
Wasserstoff

Z:

Zubehör