Plasma in der Elektronik überall im Einsatz

Einsatzgebiete für Plasma in der Elektronik: 

  • Reinigung von Leiterplatten vor dem Bedampfen und vor dem Löten oder Bonden.
  • Entfernung der Oxidoberfläche vor dem Löten und Bonden zur Optimierung des elektrischen Kontakts.
  • Ätzen von Leiterbahnen
  • Entfernen / Veraschen von Fotolacken nach dem fotolithographischen Prozess.
  • Ätzen von Silizium und Siliziumoxid
  • Ätzen von geometrischen Strukturen wie Gräben und/oder Kanälen in Halbleitern
  • Schutzbeschichtung von Bauteilen, bestückten Leiterplatten oder kompletten elektronischen Geräten durch Plasmapolymerisation. Die Beschichtung schützt vor Umwelteinflüssen und macht elektronische Geräte wasserfest.