Plasma in der Elektronik überall im Einsatz

Einsatzgebiete für Plasma in der Elektronik: 

  • Reinigung von Leiterplatten vor dem Bedampfen und vor dem Löten oder Bonden.
  • Entfernung der Oxidoberfläche vor dem Löten und Bonden zur Optimierung des elektrischen Kontakts.
  • Ätzen von Leiterbahnen
  • Entfernen / Veraschen von Fotolacken nach dem fotolithographischen Prozess.
  • Ätzen von Silizium und Siliziumoxid
  • Ätzen von geometrischen Strukturen wie Gräben und/oder Kanälen in Halbleitern
  • Schutzbeschichtung von Bauteilen, bestückten Leiterplatten oder kompletten elektronischen Geräten durch Plasmapolymerisation. Die Beschichtung schützt vor Umwelteinflüssen und macht elektronische Geräte wasserfest.
Mikroelektronik
Eine Vielzahl von Arbeitsprozessen in der Mikroelektronik nutzt die Plasmatechnik