Plasma arbeitet in molekularen Dimensionen

Die Wachstumsbedingungen für Zellkulturen lassen sich durch Plasmabehandlung beeinflussen. Zu diesem Zweck werden die Mikrotiterplatten im Plasma vorbehandelt.

Mikrofluide Bauteile mit Kanälen, Ventilen und Mikrotitern mit Strukturdimensionen im Bereich von 1 µm kann man mit Hilfe der Plasmaätzung herstellen, indem man eine Fotomaske ultrafein ätzt und anschließend ein Fotoresist belichtet und entwickelt. Man erhält so ein Fotoresist-Mikrowerkzeug, das man mit PDMS (Silikon) abformen kann. 

Die PDMS-Oberfläche kann nach dem Aushärten direkt, ohne Klebstoff und untrennbar mit PDMS, Glas oder Silizum verbunden werden, indem man beide Klebeflächen im Sauerstoffplasma funktionalisiert.