Plasma arbeitet in molekularen Dimensionen

Die Wachstumsbedingungen für Zellkulturen lassen sich durch Plasmabehandlung beeinflussen. Zu diesem Zweck werden die Mikrotiterplatten im Plasma vorbehandelt.

Mikrotiterplatte
Eine Mikrotiterplatte für die Anwendung im biologischen Labor wird in einer Plasmalution-M im Luftplasma vorbehandelt.

Mikrofluide Bauteile mit Kanälen, Ventilen und Mikrotitern mit Strukturdimensionen im Bereich von 1 µm kann man mit Hilfe der Plasmaätzung herstellen, indem man eine Fotomaske ultrafein ätzt und anschließend ein Fotoresist belichtet und entwickelt. Man erhält so ein Fotoresist-Mikrowerkzeug, das man mit PDMS (Silikon) abformen kann. 

Die PDMS-Oberfläche kann nach dem Aushärten direkt, ohne Klebstoff und untrennbar mit PDMS, Glas oder Silizum verbunden werden, indem man beide Klebeflächen im Sauerstoffplasma funktionalisiert.

Mikrofluidtechnik
Durch die Möglichkeit feinste Strukturen zu ätzen, ist Plasma das ideale Werkzeug zur Herstellung mikrofluider Bauteile.