Plasmatechnik

Aufbau und Funktion einer Niederdruck-Plasmaanlage

1  =  Vakuumpumpe ein                   6  =    Plasmakammer
2  =  Prozessgasventil7  =    Elektrode
3  =  Generator ein8  =    Druckmessung
4  =  Vakuumpumpe aus9  =    Prozessgas
5  =  Belüftungsventil10  =  Behandlungsgut
11  =  Steuerung

Funktionsweise einer Niederdruckplasmaanlage mit Hochfrequenzanregung

 

 

Komponenten einer Niederdruckplasmaanlage:

Komponente              Ausstattung          
(optional)         
     Eigenschaften
Plasmakammer
(Rezipient)
Elektroden 

Edelstahl
Planar- oder Barrelelektrode
Gegenelektrode ist oft die geerdete
Edelstahl-Plasmakammer

Warenträger

Elektrode
Etagenträger
Drehtrommel
Quarzglasstack
(anwendungsspezifisch)

Gasanschluss

1 - 4 Gasflaschen
Verdampferflasche

Gasfluss

Nadelventile (manuelle Steuerung)
MFC (PCCE-Steuerung)

Sensoren

Drucksensoren
Gasflussmessung
Temperaturmessung

Steuerungmanuell / 
automatisch

Einknopfbedienung
Ausschluss von Fehlbedienung,
automatische Parameterwahl

PCCE

Touchscreen-Menue
freie Einstellung aller Parameter

Generator100 kHz

600 Watt

Vakuumsystem
Pumpe

Drehschieberpumpe
Wälzkolbenpumpe

Ölabscheidung 

Aktivkohlefilter

 

 

Typische Betriebsparamater einer Niederdruckplasmaanlage:

Betriebsdruck

Typisch 0,1 - 1 mbar
möglich 10-3 bis 10 mbar 

Kammervolumen

typisch 2 - 100 Liter
Sonderanlagen bis >10.000 Liter

Betriebsfrequenz                               

40 kHz - 100 kHz
+ zugelassene IMS Frequenzen im RF-Bereich:
13,56 MHz, 27,12 MHz

Generatorenergie

typisch 500 Watt

Prozessgase

Luft, O2, N2, Argon, H2, LF4, C2H2,
Zahreiche weitere für Plasmapolymerisation
Theoretisch jedes Gas Einsetzbar
Plasmalution erlauben den parallelen Anschluss 
von 2 Gasen.

Prozesszeit

Typisch 1 - 5 Minuten für Reinigung und Aktivierung
Ätzen, Beschichten je nach nach Schichtdicke beliebig
lange

Substratfläche

gesamtes Kammervolumen nutzbar

PCCE-Steuerung
PCCE - Steuerung am LCD-
Touchscreendisplay
manuelle Steuerung
Manuell / halbautomatisch
mit Einknopfbedienung
abgesichert gegen Fehlbedienung